863計(jì)劃結(jié)碩果,新型集成電路制造設(shè)備研制成功

時(shí)間:2006-10-13

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導(dǎo)語(yǔ):據(jù)報(bào)道,中國(guó)863計(jì)劃集成電路制造裝備重大專項(xiàng)“100納米高密度等離子體刻蝕機(jī)和大角度離子注入機(jī)

據(jù)報(bào)道,中國(guó)863計(jì)劃集成電路制造裝備重大專項(xiàng)“100納米高密度等離子體刻蝕機(jī)和大角度離子注入機(jī)”近日在北京宣布通過科技部與北京市組織的項(xiàng)目驗(yàn)收,這標(biāo)志著中國(guó)集成電路制造核心裝備的研發(fā)取得了重大突破。 科技部高新技術(shù)發(fā)展及產(chǎn)業(yè)化司副司長(zhǎng)戴國(guó)強(qiáng)介紹說(shuō):“集成電路制造的核心裝備主要包括七項(xiàng)設(shè)備,這次研發(fā)通過的兩項(xiàng)核心設(shè)備將有助于扭轉(zhuǎn)我國(guó)集成電路制造裝備依賴進(jìn)口的局面?!?“他還表示,雖然目前我國(guó)集成電路制造業(yè)核心設(shè)備所能達(dá)到的精度是100納米,與國(guó)際上剛實(shí)現(xiàn)的65納米精度相比還有距離,但和我們以前的水平相比,已經(jīng)有了很大的進(jìn)步?!? 這次100納米高密度等離子體刻蝕機(jī)和大角度離子注入機(jī)兩種設(shè)備的研制成功,讓中國(guó)高端集成電路核心設(shè)備技術(shù)水平跨越了5代。 中國(guó)集成電路制造業(yè)的發(fā)展同時(shí)還為集成電路制造裝備創(chuàng)造了可觀的市場(chǎng)空間。據(jù)預(yù)測(cè),到2010年,中國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)投資累計(jì)將達(dá)到3500億元,其中大部分將用于集成電路制造裝備投資。這一趨勢(shì)使中國(guó)市場(chǎng)正在成為全球集成電路制造裝備業(yè)爭(zhēng)勝的焦點(diǎn)。 北京北方微電子公司和北京中科信公司與中國(guó)最大的集成電路代工廠——中芯國(guó)際公司分別簽訂了刻蝕機(jī)和離子注入機(jī)的批量采購(gòu)合同,這也是中國(guó)國(guó)產(chǎn)主流集成電路核心設(shè)備產(chǎn)品實(shí)現(xiàn)首次銷售。
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