光掩模(版)系生產(chǎn)集成電路所需之模具，是用于光致抗蝕劑涂層選擇性曝光的一種結(jié)構(gòu)，其原理類似于沖洗相片時(shí)利用底片將影像復(fù)制到相片上。
韓國(guó)科技媒體 TheElec 今日?qǐng)?bào)道稱，三星電子正計(jì)劃將內(nèi)存芯片制造所需的光掩模生產(chǎn)業(yè)務(wù)進(jìn)行外包。
據(jù)稱，目前三星已啟動(dòng)供應(yīng)商評(píng)估流程，候選企業(yè)包括日本 Toppan 控股子公司 Tekscend Photomask 和美國(guó) Photronics 旗下 PKL(注：廠址位于京畿道)，評(píng)估結(jié)果預(yù)計(jì)第三季度公布。
TheElec 報(bào)道稱，三星準(zhǔn)備將低端產(chǎn)品(i-line 365 納米、KrF 248 納米)進(jìn)行外包，內(nèi)部?jī)H保留高端光掩模(ArF 193 納米、EUV 13.5 納米)，原 i-line / KrF 資源轉(zhuǎn)向 ArF / EUV 研發(fā)。
報(bào)道稱，三星決定將光掩模生產(chǎn)外包的原因有很多，主要是三星自家 i-line 和 Krf 設(shè)備已經(jīng)老化，且不再生產(chǎn)，因此很難找到替代設(shè)備;而且低端光掩模技術(shù)外泄風(fēng)險(xiǎn)較低，三星更愿意集中力量沖擊高端制程建設(shè)。
隨著半導(dǎo)體技術(shù)越來(lái)越先進(jìn)，電路圖案越來(lái)越精細(xì)，生產(chǎn)流程中使用光掩模的數(shù)量也越來(lái)越多。例如 10nm 邏輯芯片需 67 張，而 1.75nm 預(yù)計(jì)需要 78 張;傳統(tǒng) DRAM 芯片需要 30-40 張，而現(xiàn)在最先進(jìn)的 DRAM 芯片需要 60 多張。況且，多重曝光技術(shù)也進(jìn)一步增加了光掩模所需數(shù)量。
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