只有1.5毫米大小的智能灰塵、微型AI殺人蜂（無(wú)人機(jī)）、精巧的AirPodsPro，所有這一切的高科技產(chǎn)品和新應(yīng)用，都離不開(kāi)一個(gè)小器件——MEMS智能傳感器。11月24日，第三屆中國(guó)MEMS智能傳感器產(chǎn)業(yè)發(fā)展大會(huì)在安徽省蚌埠市舉行。在本次大會(huì)上，來(lái)自蘇州明皜（蘇州固锝參股子公司）、大立科技、賽迪顧問(wèn)等的業(yè)內(nèi)人士介紹了MEMS智能傳感器的廣闊市場(chǎng)前景。

瞄準(zhǔn)產(chǎn)業(yè)機(jī)遇，安徽省將MEMS智能傳感器作為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展的重點(diǎn)。在本次大會(huì)上，安徽省智能傳感器產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新聯(lián)盟舉行了成立儀式，擁有華東光電集成器件研究所、凱盛科技等MEMS研究所企業(yè)，蚌埠市已經(jīng)成為中國(guó)三大傳感器研發(fā)制造基地之一。

千億級(jí)市場(chǎng)地方政府爭(zhēng)相布局

MEMS傳感器正被廣泛應(yīng)用于各類(lèi)智能終端、智能汽車(chē)、生物醫(yī)療等眾多領(lǐng)域，需求量與日俱增。清華大學(xué)副校長(zhǎng)尤政認(rèn)為，我國(guó)MEMS產(chǎn)業(yè)正在迎來(lái)發(fā)展機(jī)遇。

小身材大市場(chǎng)。賽迪顧問(wèn)副總裁李珂以汽車(chē)領(lǐng)域?yàn)槔榻B，預(yù)計(jì)到2020年，中國(guó)的汽車(chē)電子市場(chǎng)規(guī)模將超過(guò)9000億元，其中傳感器的市場(chǎng)規(guī)模已經(jīng)接近2000億元；未來(lái)幾年，汽車(chē)用傳感器市場(chǎng)將保持2位數(shù)增長(zhǎng)，迅速達(dá)到4000億元規(guī)模。

“MEMS智能傳感器是一個(gè)非常重要的電子信息產(chǎn)業(yè)門(mén)類(lèi)，也是我們所確定的五大高端芯片產(chǎn)業(yè)之一，我們要把MEMS智能傳感器作為重點(diǎn)來(lái)發(fā)展。”國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金（簡(jiǎn)稱(chēng)“大基金”）總裁丁文武在致辭中透露。他介紹，近幾年，我國(guó)MEMS智能傳感器連續(xù)保持年均15%至20%的增長(zhǎng)率。

安徽多措并舉加快智能傳感器發(fā)展。在本次論壇上，安徽省智能傳感器產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新聯(lián)盟舉行了成立儀式，中科銥航公司和經(jīng)開(kāi)區(qū)管委會(huì)簽約基于5G的智慧交通大數(shù)據(jù)平臺(tái)項(xiàng)目等四個(gè)重大項(xiàng)目也進(jìn)行了現(xiàn)場(chǎng)簽約。

據(jù)介紹，依托華東光電集成器件研究所（隸屬中國(guó)兵器工業(yè)集團(tuán)）、凱盛科技等一批智能傳感器研發(fā)設(shè)計(jì)制造企業(yè)，蚌埠市已經(jīng)成為中國(guó)三大傳感器研發(fā)制造基地之一，成為安徽省唯一同時(shí)擁有集成電路及MEMS晶圓生產(chǎn)線(xiàn)的城市。

看好產(chǎn)業(yè)前景，多地積極布局智能傳感器產(chǎn)業(yè)。今年8月，重慶市傳感器特色產(chǎn)業(yè)基地揭牌，重慶已經(jīng)形成以川儀股份、中移物聯(lián)網(wǎng)等為代表的智能傳感器產(chǎn)業(yè)集群。10月份，鄭州市提出將在高新區(qū)打造一個(gè)3至4平方公里的中國(guó)（鄭州）智能傳感谷。陜西省也成立了傳感器產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟。

產(chǎn)業(yè)鏈初形成上市公司多有突破

得益于消費(fèi)電子、軍工等需求推動(dòng)，MEMS傳感器正在迎來(lái)更快的發(fā)展，相關(guān)上市公司也開(kāi)始嶄露頭角。

“除了軍工應(yīng)用外，汽車(chē)、消費(fèi)電子、環(huán)境感知可能將三分天下?！痹诒敬握搲?，尤政介紹，傳統(tǒng)汽車(chē)中有200多個(gè)傳感器，其中80%都是由MEMS工藝來(lái)實(shí)現(xiàn)的；新能源車(chē)減少了燃燒相關(guān)傳感器，但增加了更多的電子系統(tǒng)傳感器，其成本占比更高。

“中國(guó)的MEMS產(chǎn)業(yè)鏈已經(jīng)初步形成?！碧K州明皜副總裁錢(qián)春華介紹了中國(guó)MEMS產(chǎn)業(yè)現(xiàn)狀。在傳感器設(shè)計(jì)領(lǐng)域，除了蘇州明皜，他還提到了瑞聲科技、歌爾股份、敏芯股份、美新半導(dǎo)體、矽?？萍嫉?。

蘇州固锝近日在接受調(diào)研時(shí)表示，蘇州明皜持續(xù)導(dǎo)入新客戶(hù)，新產(chǎn)品硅麥克風(fēng)已經(jīng)批量出貨。記者注意到，敏芯股份申請(qǐng)科創(chuàng)板上市已進(jìn)入問(wèn)詢(xún)階段，公司本次公開(kāi)發(fā)行擬融資7.07億元。

錢(qián)春華介紹，在MEMS傳感器制造環(huán)節(jié)，國(guó)內(nèi)相關(guān)公司有中芯國(guó)際、華虹宏力、耐威科技、華潤(rùn)微電子，蘇州固锝、華天科技、長(zhǎng)電科技等則具有相關(guān)封裝技術(shù)。

此外，部分初創(chuàng)公司、研究所已經(jīng)崢嶸初現(xiàn)。比如，北京久好點(diǎn)子的壓力傳感器已廣泛應(yīng)用到汽車(chē)、工業(yè)等領(lǐng)域。擁有獨(dú)特的SOI體硅工藝，華東光電集成器件研究所研發(fā)了一系列的產(chǎn)品，廣泛應(yīng)用于車(chē)輛導(dǎo)航、姿態(tài)控制、平臺(tái)穩(wěn)定等方面。在本次大會(huì)上，其發(fā)布了低成本MEMS陀螺儀，大量程、耐過(guò)載MEMS陀螺儀等多款產(chǎn)品。