上海微技術(shù)工業(yè)研究院"超越摩爾"研發(fā)中試線10日在上海嘉定啟動(dòng)運(yùn)營(yíng)，這是中國(guó)國(guó)內(nèi)首條、全球領(lǐng)先、兼容CMOS的8英寸研發(fā)中試線，旨在進(jìn)一步推動(dòng)中國(guó)"超越摩爾"技術(shù)和物聯(lián)網(wǎng)創(chuàng)新應(yīng)用快速發(fā)展。

以移動(dòng)互聯(lián)網(wǎng)、物聯(lián)網(wǎng)、云計(jì)算、大數(shù)據(jù)、人工智能等為代表的信息技術(shù)正加速創(chuàng)新、融合和普及應(yīng)用。其中，超越摩爾技術(shù)以傳感器為核心，結(jié)合射頻、功率、微能源等技術(shù)，是未來(lái)實(shí)現(xiàn)萬(wàn)物互聯(lián)的基礎(chǔ)性、決定性核心技術(shù)之一。

2017中國(guó)(上海)國(guó)際傳感器技術(shù)與應(yīng)用展覽會(huì)(簡(jiǎn)稱"SENSORCHINA")暨2017全球傳感器與物聯(lián)網(wǎng)產(chǎn)業(yè)峰會(huì)當(dāng)天于此間舉行。

業(yè)界指出，中國(guó)"超越摩爾"領(lǐng)域，雖經(jīng)歷多年的理論研究與技術(shù)驗(yàn)證，積累了大量寶貴的知識(shí)和經(jīng)驗(yàn)，但在真正放進(jìn)產(chǎn)品進(jìn)行實(shí)際應(yīng)用時(shí)往往存在與生產(chǎn)平臺(tái)脫節(jié)的情況。這都是源于MEMS產(chǎn)品的研發(fā)所涉及的技術(shù)鏈條較長(zhǎng)，且其"非標(biāo)"特性使得它的研發(fā)與創(chuàng)新需要和產(chǎn)線有一段比較長(zhǎng)的磨合期，不同于CMOS的標(biāo)準(zhǔn)工藝，可以說(shuō)對(duì)產(chǎn)線"嚴(yán)重依賴"。而中試就是必經(jīng)階段，是目前國(guó)內(nèi)傳感器廠家共同面臨的挑戰(zhàn)，據(jù)統(tǒng)計(jì)，科技成果經(jīng)過(guò)中試，產(chǎn)業(yè)化成功率可達(dá)80%，未經(jīng)中試成功率僅有30%。

基于此背景，上海微技術(shù)工業(yè)研究院實(shí)施超越摩爾計(jì)劃，爭(zhēng)取在這一領(lǐng)域與國(guó)際領(lǐng)先水平并行。上海微技術(shù)工業(yè)研究院與國(guó)際領(lǐng)先的晶圓廠密切合作構(gòu)建的8英寸"超越摩爾"研發(fā)中試線，不僅實(shí)現(xiàn)了從研發(fā)到量產(chǎn)的無(wú)縫銜接，更豐富完整了國(guó)內(nèi)的超越摩爾生態(tài)鏈，是對(duì)標(biāo)國(guó)際產(chǎn)業(yè)競(jìng)爭(zhēng)的關(guān)鍵一環(huán)。

據(jù)介紹，目前，在"超越摩爾"領(lǐng)域，相比于業(yè)界普遍使用的6英寸產(chǎn)線，貫通從研發(fā)到量產(chǎn)全程服務(wù)的SITRI的8英寸線是公認(rèn)的領(lǐng)先技術(shù)。8英寸研發(fā)中試線將專注于"超越摩爾"傳感器產(chǎn)品技術(shù)的開(kāi)發(fā)，可以全面開(kāi)展表面、體、3D微納加工以及新工藝、新器件、新系統(tǒng)的研發(fā)，并根據(jù)"超越摩爾"產(chǎn)品和技術(shù)特點(diǎn)部署了MEMS、硅光子、RF、硅基III-V族、3D集成、MR磁傳感、功率及生物等相關(guān)工藝和量測(cè)設(shè)備。作為國(guó)內(nèi)第一條先進(jìn)8英寸研發(fā)中試線，SITRI的8英寸研發(fā)中試線不僅可承擔(dān)產(chǎn)品研發(fā)、小批量生產(chǎn)、技術(shù)培訓(xùn)、設(shè)備驗(yàn)證等服務(wù)，有助于提升研發(fā)的成功率，更將助力實(shí)現(xiàn)"超越摩爾"產(chǎn)品和技術(shù)從研發(fā)到量產(chǎn)的無(wú)縫銜接。(完)

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