據報道，新加坡科技研究局（AgencyforScience,TechnologyandResearch，以下簡稱A*STAR）微電子研究院（InstituteofMicroelectronics，以下簡稱IME）發(fā)起成立了MEMS第三聯盟（MEMSConsortiumIII）來開發(fā)前沿MEMS技術。此舉將促進MEMS傳感器獲得更好的性能、更高的能效和更小的外形。

MEMS第三聯盟成員包括行業(yè)領先的應用材料（AppliedMaterials）、Coventor、臺達電子（DeltaElectronics）、格羅方德半導體（GLOBALFOUNDRIES）、應美盛（InvenSense）、SPTSTechnologies、StandingEgg、日本真空技術株式會社（ULVAC）、維易科（Veeco）及另一家電子公司。憑借IME在MEMS傳感器領域的經驗和工藝平臺，聯盟將共同開發(fā)可用于多種產品和應用的工業(yè)級慣性傳感器和壓力傳感器，如電子穩(wěn)定控制系統(tǒng)、資產跟蹤、無人機、汽車和可穿戴設備。為實現這一目標，聯盟成員將專注于縮小現有工業(yè)級慣性傳感器和MEMS傳感器之間在性能、成本、尺寸方面的差距。

印刷電路板上的能量采集器

聯盟也將開發(fā)氮化鋁（AlN）調頻MEMS慣性測量單元，包含一個3軸加速度計、一個3軸陀螺儀和一個壓力傳感器，以及氮化鋁慣性工藝流程平臺和工藝設計套件。與現有MEMS傳感器相比，氮化鋁MEMS慣性傳感器擁有諸多優(yōu)勢，如抗噪、高精度、更好的線性度以及更簡單的讀出電路設計。憑借更低的成本和更小的封裝尺寸，氮化鋁MEMS慣性傳感器將更符合工業(yè)級性能需求。

消費類、汽車和工業(yè)領域對傳感器器件的需求不斷增長，傳感器行業(yè)將面臨更復雜的挑戰(zhàn)，需要開發(fā)具有更多先進功能、更小封裝尺寸、更高性能以及更低成本的器件。MEMS和傳感器技術的研發(fā)對解決上述挑戰(zhàn)而言至關重要，也能為各類應用對MEMS器件的大規(guī)模采用鋪平道路。預計到2018年，全球MEMS市場規(guī)模將超過220億美元。

358MHz氮化鋁MEMS振蕩器

IME及其工業(yè)合作伙伴在MEMS第二聯盟（MEMSConsortiumII）成功開發(fā)了具有先進功能并可以量產的MEMS器件，例如一款能量采集器、一款振蕩器和一款磁力計。

IME的執(zhí)行董事Dim-LeeKwong教授表示：“IME在MEMS技術領域所取得的成績與產業(yè)合作密不可分，充分體現了開放式創(chuàng)新對科技進步的驅動作用。我們將研發(fā)與產業(yè)經驗相結合，開發(fā)出成本經濟的創(chuàng)新型技術解決方案，并將驅動新一代電子器件實現大批量生產和商業(yè)化。”

更多資訊請關注傳感器頻道