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掃描探針顯微鏡針尖電容的測(cè)量與應(yīng)用

發(fā)布時(shí)間:2009/4/20 12:11:00

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【掃描探針顯微鏡針尖電容的測(cè)量與應(yīng)用】

資料介紹
本文基于掃描探針顯微鏡(SPM)建立了微區(qū)電容的低頻測(cè)量系統(tǒng),最小測(cè)量電容為30aF,工作頻率為20~100kHz。試驗(yàn)測(cè)量了SPM導(dǎo)電針尖與金屬樣品之間的電容Ctip與它們之間的距離z關(guān)系曲線,并同時(shí)通過光學(xué)系統(tǒng)測(cè)量了針尖的關(guān)于頻率的一次受力信號(hào)Fw與z的關(guān)系曲線。

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