技術(shù)頻道

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光刻機(jī)運(yùn)動控制與網(wǎng)絡(luò)監(jiān)控技術(shù)研究

發(fā)布時(shí)間：2009/4/4 9:03:00

文件類型：rar

資料大小：228.50KB

提供者：中國傳動網(wǎng)

【光刻機(jī)運(yùn)動控制與網(wǎng)絡(luò)監(jiān)控技術(shù)研究】

資料介紹

光刻機(jī)是IC器件制造的關(guān)鍵設(shè)備之一，其工件臺的高速度和高定位精度是獲得高質(zhì)量光刻和高效率的重要條件．本文通過對光刻機(jī)工件臺運(yùn)動速度模式、運(yùn)動軌跡和定位誤差補(bǔ)償以及現(xiàn)代運(yùn)動控制技術(shù)和網(wǎng)絡(luò)監(jiān)控技術(shù)的研究

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