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微電子封裝設(shè)備精密定位系統(tǒng)的分析

發(fā)布時(shí)間：2009/4/4 6:15:00

文件類(lèi)型：rar

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提供者：中國(guó)傳動(dòng)網(wǎng)

【微電子封裝設(shè)備精密定位系統(tǒng)的分析】

資料介紹

根據(jù)微電子封裝設(shè)備定位平臺(tái)高速高精度的特點(diǎn)，討論了精密定位系統(tǒng)中工作臺(tái)的機(jī)構(gòu)形式、驅(qū)動(dòng)方式、運(yùn)動(dòng)控制器、實(shí)時(shí)檢測(cè)等關(guān)鍵技術(shù)的現(xiàn)狀，為研發(fā)新型微電子封裝高精密定位系統(tǒng)提供參考。

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