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集成電路芯片機(jī)器視覺檢測技術(shù)研究

發(fā)布時(shí)間:2009/3/30 11:54:00

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【集成電路芯片機(jī)器視覺檢測技術(shù)研究】

資料介紹
針對(duì)芯片制造后道工序的需求,擬開發(fā)基于精密圖像光學(xué)檢測的IC全自動(dòng)分檢機(jī)以提高IC芯片的合格率和降低檢測時(shí)間,本項(xiàng)目設(shè)備的研制,對(duì)實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體生產(chǎn)專用設(shè)備的國產(chǎn)化,縮短與世界先進(jìn)水平的差距有著重要的意義,研制的IC全自動(dòng)分檢機(jī)將會(huì)具有廣闊的市場前景和較大的社會(huì)效益。[

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