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基于相位解調的光纖MEMS壓力傳感器

發(fā)布時間：2009/3/20 15:58:00

文件類型：PDF

資料大?。?82.84KB

提供者：中國傳動網(wǎng)

【基于相位解調的光纖MEMS壓力傳感器】

資料介紹
提出了一種新的壓力傳感器,該傳感器基于Fabry-Perot腔干涉和相位解調理論測量壓力。設計用MEMS技術以及普通的光通訊接插件制作出工藝簡單,分辨率高的光纖MEMS壓力傳感器。闡述了傳感器的工作原理,分析了硅膜的厚度對傳感器性能的影響以及FP腔的長度對反射光信號的影響。

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