技術(shù)頻道

本文利用微機(jī)電（Micro-Electro-Mechanical Systems,MEMS）制程制作成三氧化鎢薄膜苯氣體傳感器,其結(jié)構(gòu)包含三氧化鎢（WO3）感測層、白金（Pt）指叉式電極（包括加熱及感測兩部分）。利用RF濺渡方式沉積出三氧化鎢薄膜,再由退火處理來得到較多的孔洞結(jié)構(gòu)來提升傳感器的靈敏度,并使用蒸鍍（E-beam）方式制作白金指叉式電極。