技術(shù)頻道

提出了一種基于Si壓阻效應(yīng)的新型MEMS氣體傳感器，其結(jié)構(gòu)主要是由制作在Si薄膜表面的惠斯通電橋和在Si薄膜表面淀積的一層聚合物氣敏薄膜構(gòu)成。應(yīng)用彈性力學(xué)薄板原理建立了該氣體傳感器中Si薄膜與聚合物薄膜相互作用的理論模型，提出了氣體傳感器的等效橫向氣體載荷qg并由此導(dǎo)出了傳感器的最終輸出公式。