技術(shù)頻道

常規(guī)擴(kuò)散硅壓阻式壓力傳感器依靠PN結(jié)實(shí)現(xiàn)敏感電阻間的電學(xué)隔離，基于單晶硅良好的彈性形變性能和顯著的壓阻效應(yīng)進(jìn)行壓力測試，以其特有的體積小、靈敏度高、工藝成熟等優(yōu)點(diǎn)，成為應(yīng)用最廣泛的壓力傳感器。不過，當(dāng)工作溫度超過125℃時，電阻與襯底間的PN結(jié)漏電加劇，使傳感器特性嚴(yán)重惡化以至失效，不能準(zhǔn)確測量壓力。因此，把能在高于125℃條件下工作的硅壓阻式壓力傳感器，稱為擴(kuò)散硅高溫壓力傳感器。