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單軸硅微加速度傳感器的原理與電路設計

發(fā)布時間:2008/11/11 13:31:00

文件類型:zip

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提供者:中國傳動網

【單軸硅微加速度傳感器的原理與電路設計】

資料介紹
摘要:單軸硅微加速度傳感器將敏感部分與外圍信號調理電路集成在一起,成為一個完整的加速度測量系統(tǒng)。系統(tǒng) 除供電電源外不需要任何外加因素,能夠實現(xiàn)電路的無觸摸啟動工作。敏感部分采用差動電容式結構具有高靈敏 度、寬量程、較低的非線性誤差、外圍電路簡單等優(yōu)點。

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