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交流伺服電機的多波形旋轉(zhuǎn)控制系統(tǒng)研究

發(fā)布時間：2008/7/3 13:18:00

文件類型：pdf

資料大?。?57.31KB

提供者：中國傳動網(wǎng)

【交流伺服電機的多波形旋轉(zhuǎn)控制系統(tǒng)研究】

資料介紹
為探索大直徑單晶體生長系統(tǒng)的最佳旋轉(zhuǎn)波形和控制參數(shù), 研制開發(fā)了晶體坩堝多波形旋轉(zhuǎn)控制系統(tǒng)

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