清能德創(chuàng)最新推出的全功能型直驅(qū)伺服驅(qū)動(dòng)CoolDrive D5，支持直線電機(jī)及DD馬達(dá)電機(jī)“位置誤差補(bǔ)償功能”，為客戶精密加工系統(tǒng)優(yōu)化提供了更精確的位置定位。特別是上位軟件不支持誤差補(bǔ)償功能時(shí)，CoolDrive D5能極大的提高系統(tǒng)的精度，方便客戶使用。

　　1 位置誤差補(bǔ)償

　　(1)功能介紹

　　位置誤差補(bǔ)償功能利用保存在CoolDrive D5(以下簡稱“CDD5”)內(nèi)的誤差補(bǔ)償表進(jìn)行實(shí)時(shí)補(bǔ)償，能夠消除因光柵尺或編碼器測量誤差導(dǎo)致的可重復(fù)定位誤差;同時(shí)，CDD5支持多種行業(yè)內(nèi)標(biāo)準(zhǔn)的激光干涉儀誤差測量數(shù)據(jù)格式，并可實(shí)現(xiàn)誤差測量的驅(qū)動(dòng)器自主規(guī)劃運(yùn)行(圖1)。

圖 1 位置誤差補(bǔ)償功能使用前后比較

      (2)位置誤差補(bǔ)償功能特點(diǎn)

　?、僦С衷囘\(yùn)行回原點(diǎn)功能

　　試運(yùn)行回原點(diǎn)功能主要用于實(shí)現(xiàn)驅(qū)動(dòng)器的自主尋原點(diǎn)。

　　誤差補(bǔ)償表的起始位置需要對(duì)應(yīng)光柵尺的一個(gè)固定位置。在使用增量編碼器時(shí)，固定位置一般為電機(jī)原點(diǎn)位置，因此需要找到該位置，才可進(jìn)行誤差補(bǔ)償測量。使用本功能后，可不依賴上位機(jī)，僅需簡單操作，CDD5即可驅(qū)動(dòng)電機(jī)完成回原點(diǎn)的動(dòng)作(圖2)。

　?、谥С终`差補(bǔ)償測量功能

　　誤差補(bǔ)償測量功能可以實(shí)現(xiàn)用戶自定義起始位置、起始方向、運(yùn)行速度、單次循環(huán)步長、步長距離、回退距離等等運(yùn)動(dòng)軌跡，滿足多種應(yīng)用需求(圖3)。

圖 2 回原點(diǎn)操作界面

圖 3 誤差補(bǔ)償測量功能界面

圖 4 TRL 格式源文件的導(dǎo)入界面

圖 5 導(dǎo)入源文件后的誤差補(bǔ)償數(shù)據(jù)

       ③支持誤差補(bǔ)償表導(dǎo)入

　　? 支持用戶自定義修改某一點(diǎn)的補(bǔ)償值，方便操作;

　　? 支持激光干涉儀生成的RTL格式源文件的一鍵導(dǎo)入(圖4)、一鍵寫入功能、一鍵保存等功能，減少操作步驟，提升調(diào)試效率，同時(shí)會(huì)根據(jù)源文件自動(dòng)計(jì)算出正反向補(bǔ)償值及平均值，從而提供給用戶更多的補(bǔ)償方式(圖5)。

　　(3)補(bǔ)償位置細(xì)分、自定義補(bǔ)償點(diǎn)數(shù)

　　? 最小補(bǔ)償單位為1個(gè)inc;

　　? 支持自定義補(bǔ)償點(diǎn)數(shù)，最高可設(shè)置1000個(gè)補(bǔ)償點(diǎn)。

　　2 位置誤差補(bǔ)償功能應(yīng)用案例

　　(1)設(shè)備信息：

　　? 2臺(tái)ABZ編碼器分辨率為100nm的直線電機(jī);

　　? 2臺(tái)CDD5伺服驅(qū)動(dòng)。

　　(2)補(bǔ)償后效果：

　　? 定位精度為2.2um;

　　? 重復(fù)定位精度1.4um。

　　3 總結(jié)

　　具備位置誤差補(bǔ)償功能的CoolDrive D5能助力設(shè)備實(shí)現(xiàn)更加精準(zhǔn)的定位，滿足半導(dǎo)體、面板、新能源、電子制造等行業(yè)的高端應(yīng)用場景需求。