今年國內(nèi)外經(jīng)濟增速開始放緩，加之中美貿(mào)易戰(zhàn)的升級，國內(nèi)制造業(yè)受到波及，直驅(qū)行業(yè)也未能“幸免”，所謂危機也是生機，上海微泓自動化設(shè)備有限公司（簡稱：微泓）砥礪前行，對未來直驅(qū)市場充滿信心。近期，本刊實地走訪了微泓自動化總裁劉品寬博士，他詳細介紹了目前公司在直驅(qū)市場的技術(shù)開發(fā)動向以及未來的發(fā)展規(guī)劃。

提供潔凈、真空的專業(yè)化半導(dǎo)體裝備方案

微泓是一家致力于直驅(qū)（Direct-Drive）回轉(zhuǎn)定位平臺產(chǎn)品研發(fā)和應(yīng)用為一體的企業(yè)，加強大學(xué)科研院所的工程能力，與大學(xué)科研院所共同承擔(dān)和完成國家大規(guī)模集成電路制造裝備與成套工藝國家科技重大專項（簡稱“02專項”），是微泓公司成立的初衷，這也使得微泓成為了較早進入半導(dǎo)體制造領(lǐng)域的國內(nèi)企業(yè)之一。

上海是中國高端制造領(lǐng)域發(fā)展較快的區(qū)域，這為微泓提供了很好的發(fā)展機遇。劉品寬表示，“我們是一家真正在半導(dǎo)體裝備制造行業(yè)有著多年實際開發(fā)經(jīng)驗的國內(nèi)公司，具備齊全的檢測設(shè)備和擁有核心的研發(fā)技術(shù)團隊。目前與多家上海半導(dǎo)體裝備企業(yè)有緊密的合作關(guān)系，包括光刻機、刻蝕機、CVD化學(xué)薄膜沉積設(shè)備等等。半導(dǎo)體行業(yè)對潔凈、真空環(huán)境以及生產(chǎn)工藝要求極為嚴苛，有一定的準入‘門檻’，通過這些年來的開發(fā)積累，微泓自動化的直驅(qū)轉(zhuǎn)臺DDR產(chǎn)品在國內(nèi)光刻機設(shè)備上有所應(yīng)用。

為了滿足半導(dǎo)體制造對潔凈度的高要求，微泓建立了100平米的萬級潔凈間，用于潔凈環(huán)境下的精密裝配、調(diào)試與測試；并配有激光干涉儀、主軸分析儀等精密測試儀器，滿足系統(tǒng)設(shè)計過程中對定制系統(tǒng)的標定、精度測試和運動特性的測試要求；特別是還開發(fā)出了一套專門針對運動定位系統(tǒng)的運動時不同敏感位置的顆粒檢測與潔凈度評估系統(tǒng)，令產(chǎn)品能夠完全符合客戶對高端應(yīng)用領(lǐng)域的需求。

微泓開發(fā)的潔凈環(huán)境使用的多維精密運動平臺和多維潔凈機械手，采用電纜管理系統(tǒng)，可以降低顆粒物的排放量；專屬潤滑劑用于潔凈環(huán)境使用，不含碳氫化合物；對材料表面進行特殊處理，使用潔凈室級包裝；專門的制造工藝，使運動系統(tǒng)達到最高的系統(tǒng)級潔凈度。

其中，多維精密運動平臺可根據(jù)客戶的應(yīng)用需求，為客戶量身定制多維運動系統(tǒng)，目前已有的成熟方案包括12吋晶圓的光學(xué)關(guān)鍵尺寸，薄膜厚度，光刻疊對測量中的四維精密運動平臺、12吋晶圓缺陷在線檢測的四維精密運動平臺、球面和非球面表面測量中的四維精密運動平臺等，這些技術(shù)解決方案可以應(yīng)用在對平臺性能具有極高要求的半導(dǎo)體制造相關(guān)領(lǐng)域。

拓展產(chǎn)品線，加強市場化

微泓從2014年左右開始面向市場推出直驅(qū)系列產(chǎn)品，并把高精度直驅(qū)DDR轉(zhuǎn)臺技術(shù)定位為公司的重點開發(fā)方向，目前在直驅(qū)轉(zhuǎn)臺技術(shù)方面擁有10多項授權(quán)國家發(fā)明專利。從2017年開始，微泓根據(jù)市場環(huán)境做出調(diào)整，向中低端應(yīng)用市場輻射。

擴展中低端應(yīng)用市場，微泓從三個方面著手，首先，是擴大產(chǎn)品線。微泓目前已開發(fā)出自己的產(chǎn)品線，包括運動控制、伺服驅(qū)動、測量傳感、控制軟件、定位機構(gòu)等關(guān)鍵部件，以及包括從納米級定位，到微米級定位和微-納結(jié)合的運動與定位控制系統(tǒng)，這些標準化和定制化產(chǎn)品線能滿足用戶對精密運動與定位控制的需求，且微泓的伺服電機、伺服驅(qū)動器以及相應(yīng)的精度補償與標定算法完全是自主研發(fā)技術(shù)。微泓的產(chǎn)品在3C電子、平板顯示、激光精加工、半導(dǎo)體和泛半導(dǎo)體制造裝備（如：光刻機轉(zhuǎn)臺）等一些精密加工行業(yè)得到廣泛應(yīng)用。

目前微泓主要推出的DDR直驅(qū)轉(zhuǎn)臺包括機械軸承支承系列（SR系列）和氣浮軸承支承系列（GR系列），具有高轉(zhuǎn)速、低傳動慣量、良好的加速性能優(yōu)勢，易實現(xiàn)高精度、高動態(tài)性能的定位過程。從定位精度（0.25~30arc-sec）和輸出力矩（0.2~300N·m）兩個維度，精確定位用戶的應(yīng)用，給予用戶更大的選擇范圍。同時還可以將直接驅(qū)動旋轉(zhuǎn)電機直接耦合或連接到從動負載上，從而實現(xiàn)與負載的剛性耦合，消除了與傳動皮帶和齒輪箱等相關(guān)的問題，為用戶帶來很好的解決方案。

其次，微泓著手做高性價比的產(chǎn)品，通過加強核心零部件（如光柵編碼器）的國產(chǎn)化率，來降低整體系統(tǒng)的制造成本，為不同的行業(yè)用戶提供具有綜合性價比優(yōu)勢的解決方案。在嚴格按照行業(yè)標準，保證產(chǎn)品的質(zhì)量的同時，強化與客戶建立聯(lián)系，增強用戶粘性，了解客戶的真實需求，為客戶提供個性化和專業(yè)化的售后服務(wù)。

此外，針對不同的細分應(yīng)用領(lǐng)域，做定制化開發(fā)。微泓具備ETO定制小批量制造與測試能力，目前已形成完善的ETO開發(fā)管理流程，包括前期的客戶咨詢、需求分析、方案及報價、簽訂合同、項目小組成立、詳細設(shè)計、加工制造、售后維護、測試與用戶考核。根據(jù)客戶設(shè)備生產(chǎn)的新要求，有針對性地在設(shè)備上定制開發(fā)所需要的功能，可以為不同的應(yīng)用場合提供差異化的技術(shù)方案，滿足中低端市場不同用戶的場景需求。

“目前我們工作的重點是結(jié)合各種不同的實際應(yīng)用環(huán)境，運用我們在DDR轉(zhuǎn)臺技術(shù)開發(fā)的優(yōu)勢，去替代國外高端品牌。在和客戶的合作上，我們雙方會集中技術(shù)、資金等優(yōu)勢資源，共同開發(fā)出更符合客戶生產(chǎn)應(yīng)用需求的方案，解決客戶面臨的難點。”劉品寬補充道。

近年來，微泓已在華東市場上嶄露頭角，按照公司的發(fā)展規(guī)劃，華南地區(qū)將是微泓未來主力開發(fā)的重點區(qū)域市場。正如劉品寬所言，華南地區(qū)是中國高科技電子產(chǎn)業(yè)的聚集地，已形成門類齊全、綜合配套能力和產(chǎn)品開發(fā)能力較強的外向型現(xiàn)代工業(yè)體系，發(fā)展極具前瞻性。微泓會緊跟時代步伐，采用“腳踏實地，扎實基礎(chǔ)”的戰(zhàn)略，全面布局企業(yè)發(fā)展道路，持續(xù)擴大微泓在中國自動化市場上的品牌影響力。