產(chǎn)品頻道

CS-LAS系列加速度傳感器由西安中星測(cè)控有限公司自行研制，用于測(cè)量加速度的傳感器。它采用進(jìn)口高精度MEMS-IC芯片，具有BIMOS信號(hào)限制電路。設(shè)計(jì)考慮多用戶的需求，制造采用表貼工藝技術(shù)。具有高可靠性和高封裝堅(jiān)固性，并具有自檢測(cè)（Self-Test）功能，可實(shí)現(xiàn)BIT（Built-In-Test）檢測(cè)。 本產(chǎn)品可用于汽車(chē)測(cè)控、慣性導(dǎo)航、飛行器安全系統(tǒng)、地震監(jiān)控、傾斜、速度和位置的慣性、振動(dòng)和沖擊試驗(yàn)臺(tái)加速度的測(cè)量等系統(tǒng)中。 原理 CS-LAS系列加速度傳感器是建造在硅晶片頂部的表面MEMS多硅結(jié)構(gòu)。多晶硅簧片懸浮在晶片表面的結(jié)構(gòu)，并提供一個(gè)克服加速度感應(yīng)力的阻力。用包含兩個(gè)獨(dú)立的固定板和一個(gè)與運(yùn)動(dòng)質(zhì)塊相連的中央板形成的差動(dòng)電容器機(jī)構(gòu)來(lái)測(cè)量比例于加速度的多硅結(jié)構(gòu)的偏轉(zhuǎn)，從而產(chǎn)生電壓輸出信號(hào)。