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ETEL VULCANO XYZ3T H QuiET堆疊平臺
產(chǎn)品型號VULCANO XYZ3T H QuiET
廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
公司名稱約翰內(nèi)斯·海德漢博士（中國）有限公司
地 址北京市順義區(qū)天竺空港工業(yè)區(qū)A區(qū)天緯三街6號
企業(yè)信息
VIP會員第20年
公司類型： 生產(chǎn)商
主運(yùn)營：旋轉(zhuǎn)和角度編碼器、直線光柵尺、數(shù)控系統(tǒng)
所在地區(qū)：北京市
注冊時(shí)間：2006-04-20
VULCANO XYZ3T H QuiET堆疊平臺
是由Vulcana XY系統(tǒng)和一個(gè)XYZ3T H多功能模塊組成的高精度多軸系統(tǒng)，該平臺也集成了QuiET主動避震系統(tǒng)。
產(chǎn)品亮點(diǎn)：
模塊化設(shè)計(jì)，結(jié)構(gòu)緊湊
納米級的位置穩(wěn)定性
高動態(tài)性能：2.5 g，1.5 m/s
運(yùn)動和穩(wěn)定時(shí)間短
兼容ISO 1級超凈車間
±0.1°以上的搖擺和傾斜修正范圍
帶雙Z軸，內(nèi)置Z軸重力補(bǔ)償
優(yōu)異的Z軸直線度
更高Z軸重復(fù)精度和抖動性能
可修正工作臺平面度
卡盤面帶真空接口
產(chǎn)品性能：軸搖擺和傾斜粗大Z軸旋轉(zhuǎn)軸
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ETEL Charon2 Z3TM Qu
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