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1.實現大行程納米定位
2.高分辨率（1納米），重復定位精度（75納米），定位精度（250納米）
3.1納米的位置穩(wěn)定性
4.抗爬行十字交叉滾珠軸承
5.高動態(tài)特性
1.結構緊湊25mm*25mm或50mm*50mm行程
2.實現大行程納米定位
3.高分辨率（1納米），重復定位精度（75納米），定位精度（250納米）
4.1納米的位置穩(wěn)定性
5.抗爬行十字交叉滾珠軸承
6.高動態(tài)特性
2.實現大行程納米定位
3.高分辨率（1納米），重復定位精度（75納米），定位精度（250納米）
4.1納米的位置穩(wěn)定性
5.抗爬行十字交叉滾珠軸承
6.高動態(tài)特性
1.大行程實現納米定位
2.高分辨率（2納米），重復定位精度（75納米），定位精度（300納米）
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2.高分辨率（2納米），重復定位精度（75納米），定位精度（300納米）
3.2納米的位置穩(wěn)定性
4.抗爬行十字交叉滾珠軸承
5.高動態(tài)特性
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