аЯрЁБс>ўџ ўџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџ§џџџўџџџўџџџ ўџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџRoot Entryџџџџџџџџ РFбжLBбSummaryInformation(џџџџиDocumentSummaryInformation8џџџџџџџџџџџџјWordDocumentџџџџџџџџџџџџ.ўџџџ ўџџџ !"#$%&'()*+,-./0123456789:;<=>?@ABCDEFGHўџџџJKLMNOPQRSTUVWXYZ[\]^_`abcdefghijklmnopqrsўџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџўџр…ŸђљOhЋ‘+'Гй0Ј €ЈАМШмшє  0 < HT\dl АUSERNormalAdministrator1@z*,с>б@€моKBб ?Microsoft Office WordўџеЭеœ.“—+,љЎDеЭеœ.“—+,љЎ`ˆ€˜ЈДРШаифьє ќ  АMSH ˜(\€dlKSOProductBuildVerА2052-10.1.0.53990TableџџџџIІ Data џџџџџџџџџџџџўџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџьЅС‰ˆ PПК KSKSУ.нџџџџџџЄ22е 2 > _юŽ Є  $™hMLJщ Ѕ% А х‚— N}ї‹{vU_ Nb—Qйzџ  HYPERLINK "http://www.ethercat.org.cn/login.aspx?ReturnUrl=%2fmemberarea%2fdownload%2fESI_Schema_V1i11.zip" http://www.ethercat.org.cn/login.aspx?ReturnUrl=%2fmemberarea%2fdownload%2fESI_Schema_V1i11.zip іјЖ И К §ћїѕёэщчo(o(U0Jo(Uo(o(o(Uo(o(К §ћ,А‚. АЦA!А# "А$ %ААSАр2P18&˜žžžžžžžž666666666vvvvvvvvv666666>666666666666666666666666666Ј6666666666И666666666646hH6666666666666666<666666666666666666666666666666666666666666666666А666Рар№ 0@P`p€Рар№6666 0@P`p€Рар№ 0@P`p€Рар№ 0@P`p€Рар№ 0@P`p€Рар№ 0@P`p€Рар№ 0@P`p€J@ёџJck‡e a$$1$ CJaJKHmH sH nHtH_H$A@ђџЁ$иžЄ‹Еk=„W[SONi@ѓџГN0nfhˆ*К К нG‡z €џTimes New Roman-†(‹[SO7$џсџЌ@ Ÿ Calibri;€WingdingsџџUSER Administrator ˆЄШQhЗЫ<ЇGь?]}ЂЈАЗЧЩ    & 0 2 3 : !6"000 0 0 0000006ў:ў>ў@ўDўZў\ў^ўџџџџ џ џџџџџ=џ@џ\џ]џ^џрџ$([{ЃЅЗ  0 0 000000Yў[ў]ўџџџ;џ[џсџхџ Дœ€ќ§P)№џ?ЈвP‚2€мммм&хїCвP‚u$ЫБ+IezЅ.*І‹9 ^PŒQ1іO”&V210Щa1U6Ld<€OD#r}DX qF?9J^olJ2c;K L ;Qаg7[F–[*љ[-Cћ[Ц1Ш^ohи-hj$]2kQeZnG1ФpŒMИv8!w(qˆyЫыyЮDу}нџџџџ№ №№t№№0№( № №№$ №# № П? {лнX”џ•€џ@