аЯрЁБс>ўџ ўџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџ§џџџўџџџўџџџ ўџџџўџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџRoot Entryџџџџџџџџ РF ИксBб€SummaryInformation(џџџџиDocumentSummaryInformation8џџџџџџџџџџџџјWordDocumentџџџџџџџџџџџџ.ўџџџ ўџџџ !"#$%&'()*+,-./0123456789ўџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџўџр…ŸђљOhЋ‘+'Гй0Ј €ЈАМШмшє  0 < HT\dl АUSERNormalAdministrator1@z*,с>б@€Ђ*сBб ?Microsoft Office WordўџеЭеœ.“—+,љЎDеЭеœ.“—+,љЎ`ˆ€˜ЈДРШаифьє ќ  АMSH ˜(\€dlKSOProductBuildVerА2052-10.1.0.53990Tableџџџџv Data џџџџџџџџџџџџўџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџьЅС‰ˆ PПF KSKSУ.#џџџџџџЄ22Ѕ 2 > _ю^ t  $™hMLJЙ Ѕ% € х‚— N}ї‹{vU_ Nb—Qйzџ  HYPERLINK "http://www.ethercat.org.cn/login.aspx?ReturnUrl=%2fmemberarea%2fdownload%2fETG5003_2020_V1i0i0i1_S_R_Errata_MassFlowController.pdf" http://www.ethercat.org.cn/login.aspx?ReturnUrl=%2fmemberarea%2fdownload%2fETG5003_2020_V1i0i0i1_S_R_Errata_MassFlowController.pdf < > B D F §ћїѕёэщчo(o(U0Jo(Uo(o(o(Uo(o(F §ћ,А‚. АЦA!А# "А$ %ААSАр2P18&˜žžžžžžžž666666666vvvvvvvvv666666>666666666666666666666666666Ј6666666666И666666666646hH6666666666666666<666666666666666666666666666666666666666666666666А666Рар№ 0@P`p€Рар№6666 0@P`p€Рар№ 0@P`p€Рар№ 0@P`p€Рар№ 0@P`p€Рар№ 0@P`p€Рар№ 0@P`p€J@ёџJck‡e a$$1$ CJaJKHmH sH nHtH_H$A@ђџЁ$иžЄ‹Еk=„W[SONi@ѓџГN0nfhˆ*F F #G‡z €џTimes New Roman-†(‹[SO7$џсџЌ@ Ÿ Calibri;€WingdingsџџUSER Administrator ˆЄШQhЗЫ<Їь?]}ЂЈАЗЧЩ    & 0 2 3 : !6"000 0 0 0000006ў:ў>ў@ўDўZў\ў^ўџџџџ џ џџџџџ=џ@џ\џ]џ^џрџ$([{ЃЅЗ  0 0 000000Yў[ў]ўџџџ;џ[џсџхџ Дœ€ќ§P)№џ?ЈвP‚2€""""хїCвP‚u$ЫБ+I^PŒQ1іO”&V210Щa1U6Ld<€OD#r}D?9J ;Qаg7[ohи-hj$]2kQeZnG1ФpŒMИv8!w(qˆyЫыy#џџџџ№ №№t№№0№( № №№$ №# № П? ž!#X”џ•€џ@