技術(shù)頻道

具體是一種基于蜜蜂平衡棒的仿生三維角速度傳感器。本發(fā)明解決了現(xiàn)有仿生角速度傳感器體積大、檢測維數(shù)單一、不便集成的問題。基于蜜蜂平衡棒的仿生三維角速度傳感器，包括由有機(jī)玻璃制成且上下底面為等腰三角形的三棱柱支架，三棱柱支架邊長相等的兩側(cè)面上均粘結(jié)有平衡棒結(jié)構(gòu)；平衡棒結(jié)構(gòu)包括空心框體、位于水平方向上的兩個檢測梁、以及位于垂直方向上的兩個前寬后窄的驅(qū)動梁；在兩個驅(qū)動梁上靠近空心框體的部分均依次生長有壓電膜層和Si3N4絕緣層；兩個檢測梁上均固定有阻值為2-3kΩ的P型壓阻條。本發(fā)明所述的三維角速度傳感器體積小、功耗低，實現(xiàn)了三維角速度的檢測，可廣泛適用于三維角速度的檢測。