基于厚膜混合集成的電容式加速度傳感器
發(fā)布時(shí)間：2013/9/3 16:28:27
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【基于厚膜混合集成的電容式加速度傳感器】
為了減小電容式加速度計(jì)的體積，提高檢測(cè)精度、擴(kuò)展應(yīng)用范圍，采用厚膜混合集成工藝，將檢測(cè)電路和電容式加速度計(jì)敏感單元集成于一體。詳細(xì)介紹了厚膜混合集成工藝的版圖設(shè)計(jì)和制作過(guò)程，并介紹了制作工藝中的各道工序。用UP-16封裝形式，對(duì)厚膜混合集成電容式加速度計(jì)進(jìn)行了封裝。經(jīng)過(guò)與原電路比較后可知經(jīng)厚膜混合集成后，體積大大減小，經(jīng)封裝后通過(guò)金屬外殼接地，提高抗干擾能力，經(jīng)測(cè)試，其測(cè)試精度能提高1~2個(gè)數(shù)量級(jí)。
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