介紹一種厚膜電容式壓力傳感器，它以陶瓷彈性體和蓋板為電容的電極，電極材料為鈀銀導體，傳感器包括壓力敏感芯片和電容-電壓轉換電路，該芯片是由兩塊能牢固鍵合成一體的基板組成，基板材料為96% Al2O3陶瓷。傳感器量程為0～200kPa，電容值20 pF，非線性0.3%，工作溫度-20～+85℃，零點溫漂小于200ppm/℃。具有易于批量生產、性能/價格比高等技術優(yōu)勢。
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