MZI型MOEMS壓力傳感器的研究
發(fā)布時間：2013/9/2 14:39:47
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【MZI型MOEMS壓力傳感器的研究】
集成光學壓力傳感器利用幅度、相位、折射率分布、光程和光波極化方式的改變來感應外部壓力。設計了馬赫-曾德爾干涉儀(MZI)型微型光機電系統(tǒng)(MOEMS)壓力傳感器，探討了工作原理，分析了彈性薄膜尺寸對應力的影響和波導中TE、TM模式的光對波導折射率的影響。通過設計彈性薄膜的尺寸和選用特定波長的單模激光，得到傳感器的工作特性。
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