基于壓力傳感器封裝的波紋膜片的結構研究
發(fā)布時間：2013/9/2 11:17:24
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提供者：網(wǎng)絡轉(zhuǎn)載
【基于壓力傳感器封裝的波紋膜片的結構研究】
針對隔離型壓力傳感器封裝的特點，介紹了波紋膜片的設計過程，并利用有限元分析方法對影響波紋膜片性能的主要因素—膜片厚度和波紋深度進行了分析研究，對波紋膜片的結構進行優(yōu)化，改善了封裝有波紋膜片的壓力傳感器的線性度和靈敏度。
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