為了滿足從醫(yī)療器械到電子產(chǎn)品制造等眾多行業(yè)的需求，可能需要建立高度精密和準確定位微孔的大量致密區(qū)域。由于存在損壞和鉆頭偏離的風險，較小的直徑會使機械鉆孔過程變得更為困難。由于精密的激光束聚焦等于或小于所需的孔徑，激光鉆孔克服了上述問題。此外，它是一個非接觸式過程，因此可防止任何損壞。

　　激光鉆孔面臨諸多挑戰(zhàn)，其中包括控制從入口到出口的錐形形狀以實現(xiàn)高深寬比。這取決于光束穿過材料表面時的焦點控制，并且隨著表面變厚而變得更加困難?？赡苓€需要鉆數(shù)千個孔以滿足更小直徑的需求，因此要求更小的激光光斑尺寸。其他因素包括光束整形和激光波長的精心選擇，以及確保運動系統(tǒng)可以在大面積上實現(xiàn)準確放置和孔精度。

　　該運動解決方案的主要特點

　　? 高精度特征形狀;

　　? 增高的孔密度;

　　? 精密的錐度控制;

　　? 一致、清潔且快速的鉆孔過程;

　　? 高處理能力;

　　? 易于激光集成。

　　① Z軸——可靠的激光高度控制

　　? 高精度滾珠絲杠線性平臺帶有伺服電機和制動閘，可在高負載下安全可靠地運行;

　　? 絕對編碼器可避免碰撞;

　　? 堅固的工業(yè)IP65連接器，用于柔性電纜出口;

　　? 側(cè)面密封和硬蓋可防止顆粒進入。

　　②Z軸——激光聚焦可實現(xiàn)錐度和橫截面控制

　　? 音圈直接驅(qū)動電機，可實現(xiàn)無摩擦運行和高掃描頻率;

　　? 集成線性編碼器，可實現(xiàn)準確的位置反饋;

　　? 可調(diào)節(jié)的重力補償，確保安全運行;

　　? 靈活的安裝選配件，易于集成。

　?、踃Y軸——精密定位工件

　　? 基于壓電陶瓷的XY掃描儀，可實現(xiàn)高動態(tài)和納米級精密定位;

　　? 并聯(lián)運動設計，可實現(xiàn)X和Y方向的相同動態(tài)性;

　　? 零游隙柔性鉸鏈導向帶來高導向精度;

　　? 具有長期穩(wěn)定性的亞納米級分辨率;

　　? 快速毫秒級穩(wěn)定時間;

　　? 納米級高跟蹤精度。

　　④XY軸——在長行程內(nèi)定位工件

　　? 高動態(tài)無鐵芯線性電機，可實現(xiàn)快速精密的輪廓加工;

　　? 參考邊緣可簡化機器中的對準;

　　? 吹掃空氣用連接器、側(cè)面密封和硬蓋可防止顆粒進入;

　　? 絕對編碼器可避免參考并確保運行期間的安全性。靈活輕松的自動化控制

　　? Ether CAT運動控制和驅(qū)動模塊提供開放式網(wǎng)絡

　　連接;

　　? 通過EtherCAT生成外形或觸發(fā)預定義鉆孔外形;

　　? 通過EtherCAT或模擬功率輸出進行激光脈沖控制。

      激光控制接口：伺服控制可實現(xiàn)快速步進和穩(wěn)定以及干擾抑制。

　　  ServoBoost?：能夠添加快速壓電控制以改善遺留系統(tǒng)的性能。