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集成電路照排平臺(tái)高精度定位傳感器
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集成電路照排平臺(tái)高精度定位傳感器

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型    號(hào)SMU9000

產(chǎn)    地廣東省   深圳市

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供貨總量

0臺(tái)

發(fā)布時(shí)間

2009-03-26

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產(chǎn)品介紹
集成電路照排平臺(tái)高精度定位傳感器

在關(guān)鍵的Z軸高度調(diào)整中，支撐圓晶片的平臺(tái)必須非常精確地處于焦點(diǎn)平面（次原子級(jí)）。凱盟系統(tǒng)精確測(cè)量Z軸平臺(tái)的位置（如圖）并輸出模擬信號(hào)（或可選的數(shù)字接口）。此傳感器的高精度、重復(fù)性和分辨率可讓用戶在平臺(tái)定位和聚焦上形成閉環(huán)。用凱盟公司15N傳感器頭和前置器SMU9000組成。

在關(guān)鍵的Z軸高度調(diào)整中，支撐圓晶片的平臺(tái)必須非常精確地處于焦點(diǎn)平面（次原子級(jí)）。凱盟系統(tǒng)精確測(cè)量Z軸平臺(tái)的位置（如圖）并輸出模擬信號(hào)（或可選的數(shù)字接口）。此傳感器的高精度、重復(fù)性和分辨率可讓用戶在平臺(tái)定位和聚焦上形成閉環(huán)。用凱盟公司15N傳感器頭和前置器SMU9000組成。

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企業(yè)詳細(xì)信息

廠商性質(zhì)

所在地

廣東省

聯(lián)系人

江山

地址：深圳市南山區(qū)南山大道中油大廈2210

電話：0755－26528100

傳真：0755－26435640

網(wǎng)址：http://www.51sensors.com

主營(yíng)產(chǎn)品：激光位移傳感器、電容位移傳感器、電感位移傳感器、電渦流位移傳感器、磁致伸縮位移傳感器、電阻位移傳感器、超聲位移傳感器、光電位移傳感器

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